氮化硅分级轮是一种由氮化硅磨料制成的砂轮,其颗粒大小和形状可以根据加工要求进行分级,常用于硅片的研磨和抛光工艺中。
氮化硅分级轮产品之优势:
高硬度:氮化硅磨料具有很高的硬度,可达到2800-3300kg/mm²,比一般磨料高出数倍,因此能够更好地满足对硅片表面的高精度加工要求。
耐磨性强:氮化硅磨料的耐磨性比一般磨料更好,能够更长时间地保持较高的磨削效率,降低了加工成本和频率。
粒度分级:氮化硅分级轮的磨料颗粒大小和形状可以根据加工要求进行分级,可满足不同精度和光洁度的加工需求。
高温稳定性:氮化硅磨料具有较高的热稳定性,即在高温下仍能保持较好的硬度和磨削效果,适用于高温加工环境。
氮化硅分级轮性能指标:
性能 | 指标 | ||||
体积密度(g/cm³) | 3.2±0.05 | ||||
洛氏硬度(HRA) | 87-94 | ||||
弯曲强度(MPa) | ≥500 | ||||
压缩强度(Mpa) | ≥1500 | ||||
断裂韧性/(MPa.m1/2) | ≥6.0 | ||||
击穿电压/KV | ≥12 | ||||
热膨胀系数(室温至500℃)X10-6/℃ | 2.0≤α≤3.7 | ||||
弹性模量(GPa) | 40-310 |
陶瓷产品加工精度:
项目 | 精度数值 | ||||
尺寸精度 | 最高可到0.001mm | ||||
光洁度 | 最高可达镜面 | ||||
同心度 | 最高可达0.003mm | ||||
平行度 | 最高可达0.002mm | ||||
内孔公差 | 最小可加工0.005mm | ||||
直槽 | 最窄可加工槽款0.1*100mm | ||||
厚度尺寸 | 最小加加工至0.08mm | ||||
螺纹 | 最小加工内螺纹M2,外螺文不限 | ||||
圆柱度 | 最高可达0.004mm | ||||
线性公差 | 最高可达0.001mm | ||||
最小孔径 | 最小可加工0.07mm |
氮化硅分级轮应用领域:
半导体制造业:氮化硅分级轮可用于硅片的平坦化、薄化和抛光,用于制备高精度的半导体器件。
光电子工业:氮化硅分级轮可用于光学元件、光纤连接器等的加工和抛光,提高光学器件的精度和光洁度。
太阳能行业:氮化硅分级轮可用于太阳能电池片的抛光和增光,提高太阳能电池的转换效率。
硅晶圆行业:氮化硅分级轮可用于硅晶圆的抛光和玻璃化处理,提高硅晶圆的表面质量和光洁度。