氮化硅绝缘环不会与氢气、氯化氢、氯化硅等气体反应,稳定性好,能起到隔热、防腐、耐高温效果,既可以有效防止剥落的碳毡等导电材料将电极与底盘接通,造成短路现象,又可以将电极体与还原炉内的高温隔离,从而避免还原炉发生氢气泄漏甚至爆炸等安全事故。氮化硅陶瓷环绝缘性好、韧性高、耐高温和抗震性好,能满足多晶硅还原炉的环境使用要求,提高工作效率,使用寿命是氧化铝绝缘环的10倍以上。
氮化硅绝缘环之优势:
具有很强的耐腐蚀性:可以在强氧化剂中使用,溶解盐酸除盐酸外,它不与别的强氧化剂发生化学反应;
耐高温的强度极高:氮化硅陶瓷在1200℃温度下,抗压强度差不多不会改变,可以在高溫环境中应用,遇热后不易熔成融体,如果一直到1900℃的高温才会溶解;
不导磁,绝缘,低传热性:可以用作绝缘层保温材料;
对密度低,重量较轻,抗压强度和强度远超一般结构陶瓷:可以用作金属复合材料;
较低的线膨胀系数:等于氧化铝陶瓷的百分之30,不上氧化锆陶瓷的百分之40,可以承担溫度的大幅度转变在空气中温度到1000℃以上,大幅度制冷再大幅度加温,也不会破裂。
氮化硅绝缘环性能指标:
性能 | 指标 | ||||
体积密度(g/cm³) | 3.2±0.05 | ||||
洛氏硬度(HRA) | 87-94 | ||||
弯曲强度(MPa) | ≥500 | ||||
压缩强度(Mpa) | ≥1500 | ||||
断裂韧性/(MPa.m1/2) | ≥6.0 | ||||
击穿电压/KV | ≥12 | ||||
热膨胀系数(室温至500℃)X10-6/℃ | 2.0≤α≤3.7 | ||||
弹性模量(GPa) | 40-310 |
陶瓷产品加工精度:
项目 | 精度数值 | ||||
尺寸精度 | 最高可到0.001mm | ||||
光洁度 | 最高可达镜面 | ||||
同心度 | 最高可达0.003mm | ||||
平行度 | 最高可达0.002mm | ||||
内孔公差 | 最小可加工0.005mm | ||||
直槽 | 最窄可加工槽款0.1*100mm | ||||
厚度尺寸 | 最小加加工至0.08mm | ||||
螺纹 | 最小加工内螺纹M2,外螺文不限 | ||||
圆柱度 | 最高可达0.004mm | ||||
线性公差 | 最高可达0.001mm | ||||
最小孔径 | 最小可加工0.07mm |
应用领域:光伏还原炉。